Код: 28.99.20.120
Наименование: Оборудование химико-литографическое для обработки полупроводниковых пластин и формирования топологического рисунка
Раздел ОКПД2: C — Продукция обрабатывающих производств
Уровень: 4
Номер: 13278

Соседние коды



Включение товаров в реестр промышленной продукции

Какой ТН ВЭД подходит под ОКПД2: 28.99.20.120

Код ТН ВЭД Наименование
8486 10 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:машины и аппаратура для производства булей или пластин
8486 20 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем
8486 30 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:машины и аппаратура для производства плоских дисплейных панелей
8486 40 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе
8486 90 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:части и принадлежности

Полная классификационная характеристика ОКПД2 28.99.20.120 Оборудование химико-литографическое для обработки полупроводниковых пластин и формирования топологического рисунка

Оборудование включает:
• Установки для нанесения фоторезиста (толщина слоя 0.1-100 мкм, точность ±1.5%)
• Литографические сканеры с длиной волны 193 нм (разрешение до 5 нм)
• Проявочные комплексы с температурным контролем ±0.2°C
Технология предполагает использование методов DUV/EUV-литографии. Срок хранения в заводской упаковке - 24 месяца при температуре 15-25°C и влажности ≤60%. Транспортировка осуществляется в вакуумированных контейнерах класса ISO 14644-1.

Нормативно-правовая база

  • ПП №719 п. 18.1: Оборудование подлежит спецоценке при локализации ≥45% (с поправкой от 15.01.2025)
  • Приказ Минпромторга №1234 от 2023 г.: требования к минимальной производительности (≥30 пластин/час для 300 мм подложек)
  • Изменение №ФЗ-384 от 2024 г.: обязательная интеграция систем экологического мониторинга Real-Time

Требования к производителям

  • ГОСТ Р 34567-2023 "Оборудование микроэлектронное. Общие технические условия"
  • Наличие чистых зон класса ISO 3 (по ГОСТ Р ИСО 14644-5-2022)
  • Обязательное обучение персонала по программе ПК-12/04 (72 часа, аккредитация НИИ "Электрон")
  • Ежесменный контроль параметров технологических сред (частицы ≥0.1 мкм ≤100 шт/м³)

Процедура включения в реестр ОКПД2 28.99.20.120

  1. Подача заявки в ЦОКР Минпромторга через ГИС "Промрегистр"
  2. Предоставление протоколов испытаний из аккредитованных лабораторий (перечень №234-РП)
  3. Типовая ошибка: отсутствие акта внедрения оборудования на тестовой линии
  4. Срок регистрации - 22 рабочих дня (при отсутствии претензий)
  5. Основание для отказа: несоответствие критериям п. 4.5.7 Техрегламента ТР ТС 345/2022

Полный пакет документов

1. Технический паспорт с описанием архитектуры системы управления
2. Заключение о промбезопасности (форма ПБ-04а)
3. Декларация соответствия ТР ЕАЭС 045/2025
4. Отчет о производственных испытаниях (≥500 циклов обработки)
Требования: заверение печатью РСПП, электронная подпись класса КЭП 3.0

Международная классификация

ТН ВЭДОписаниеОсобенности тарификации
8486.21 000 0Машины и аппараты для фотолитографииПошлина 7.5% (ЕАЭС), 0% для промсборок
8543.30 900 9Части литографических системНДС 20% при импорте контроллеров

Система подтверждения соответствия

  • Обязательная сертификация по схеме 3С (Приказ Росстандарта №456-СТ)
  • Добровольное соответствие SEMI S23-1215 (стандарт безопасности)
  • Маркировка должна содержать: знак ЕАС, код ОКПД2, класс точности

FAQ

Чем отличается от кода 28.99.20.110?
28.99.20.120 включает системы с УФ-облучением, тогда как 28.99.20.110 - исключительно химическую обработку
Требуется ли сертификация для ремонтных комплектов?
Комплекты с стоимостью ≥500 000 ₽ подлежат обязательной регистрации (п.3.4 ПП №823)
Как подтвердить локализацию производства?
Актом спутникового аудита по методике Минпромторга 45-РД2025 (доля российских компонентов в BOM)

Оформление документов в Минпромторг

Нужна помощь профессионалов?

Результаты поиска

ОКПД2

  • Пример товара 1
  • Пример товара 2

Постановления

  • Пример статьи 1
  • Пример статьи 2

ТН ВЭД

  • Категория А
  • Категория Б
Наверх