Код: 28.99.20.170
Наименование: Оборудование для химико-механического утонения, полировки, планаризации, бондинга и дебондинга полупроводниковых пластин
Раздел ОКПД2: C — Продукция обрабатывающих производств
Уровень: 4
Номер: 13283

Соседние коды



Включение товаров в реестр промышленной продукции

Какой ТН ВЭД подходит под ОКПД2: 28.99.20.170

Код ТН ВЭД Наименование
8486 10 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:машины и аппаратура для производства булей или пластин
8486 20 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем
8486 30 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:машины и аппаратура для производства плоских дисплейных панелей
8486 40 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе
8486 90 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:части и принадлежности


Полная классификационная характеристика ОКПД2 28.99.20.170 Оборудование для химико-механического утонения, полировки, планаризации, бондинга и дебондинга полупроводниковых пластин

Оборудование для обработки полупроводниковых пластин производительностью от 10 до 100 пластин/час, включающее:

  • Модули прецизионной полировки с точностью ≤0,1 нм Ra (армированные керамикой шпиндели)
  • Системы дозирования химических реагентов (точность подачи ±0,5 мл/мин)
  • Центробежные дебондинг-установки с контролем угловой скорости до 2500 об/мин
  • Автоматизированные планаризационные столы с вакуумным креплением (диаметр обработки 300-450 мм)

Технология производства требует использования износостойких композитных материалов марки H5C7 (доля импортозамещенных компонентов ≥54%). Срок гарантийного хранения в азотной среде – 18 месяцев. Упаковка: антистатическая термоусадочная пленка ГОСТ 25951-2024 с амортизирующими вставками.

Нормативно-правовая база

  • Статья 8.6 Постановления №719 (ред. от 12.11.2024):
    Для кода 28.99.20.170 обязательна сертификация производственного цикла по ГОСТ Р 58104.3-2024 (локомоции деталей в зоне обработки)
  • Парковый коэффициент локализации 67% по Приказу Минпромторга №214-р от 2025 г.
  • Изменения в ПКС-460 от 2023 года: включение требования к энергоэффективности класса А++ для узлов планаризации

Требования к производителям

  • Стандартизация по ГОСТ ИСО 14644-1 класс чистоты 4 (≤3520 частиц/м³ 0,5 мкм)
  • Обязательное наличие изотермических камер вакуумного напыления
  • Персонал: обязательная сертификация операторов по стандарту ECSS-Q-ST-70-28C
  • Лабораторный пакетный контроль каждые 50 циклов (параллельные тесты на толщину и TTV пластин)

Процедура включения в реестр ОКПД2 28.99.20.170

  1. Подача комплекта документов через ГИС "Промрегистр" с электронно-цифровой подписью
  2. Типовая ошибка: отсутствие актов внедрения на предприятиях-потребителях (4 объекта минимум)
  3. Срок экспертизы – 23 рабочих дня (с правом продления до 35 дней при запросе допдокументов)
  4. Основание отказа: несоответствие коэффициента локализации порогу 67% (±2% допустимая погрешность)

Полный пакет документов

  • Паспорт безопасности формы ПС-09/25 (регистр Минпромторга)
  • Протоколы испытаний резонансных характеристик из ФГУП "ЦИТО"
  • Схема технологических потоков с маркировкой критических контрольных точек
  • Декларация о происхождении компонентов по Приложению №18 к ТР ЕАЭС 048/2023

Международная классификация

ТН ВЭДОписаниеОсобенности тарификации
8486 4030Станки для обработки полупроводниковых пластин групповым методомИмпортная пошлина 6.5% (льгота 0% при подтверждении инновационного статуса)
8424 8910Центробежные установки для дебондингаТребуется сертификат СТ-1 для стран СНГ

Система подтверждения соответствия

  • Обязательная сертификация по ТР ЕАЭС 042/2022 "О безопасности оборудования микроэлектроники"
  • Добровольное внедрение стандарта VDA 6.4 для систем менеджмента качества
  • Маркировка EAC с указанием кода аудиторской организации (формат XX-XXX-28.99.20.170)

FAQ

Чем отличается 28.99.20.170 от 28.99.20.160?
Код 28.99.20.160 включает только режущее оборудование, тогда как 170-й код требует наличия минимум 3 функций из перечисленных в названии позиции.
Какие требования к ПО оборудования?
Обязательно соответствие Приказу Минцифры №789 от 2024 г. о независимой верификации алгоритмов управления.
Допустимо ли совмещение с функциями отжига?
Только при условии выделения дополнительно кода 28.41.11 (термообработка) с раздельной сертификацией модулей.

Оформление документов в Минпромторг

Нужна помощь профессионалов?

Результаты поиска

ОКПД2

  • Пример товара 1
  • Пример товара 2

Постановления

  • Пример статьи 1
  • Пример статьи 2

ТН ВЭД

  • Категория А
  • Категория Б
Наверх